_Pachetul de fotolitografie_ este un ansamblu de sisteme constând dintr-un mask aligner și un sistem de nanoimprimare pentru realizarea de structuri simple/complexe de dimensiuni micronice până la dimensiuni nanometrice pe substraturi diferite folosind radiația UV.
38636000: Optische Fachinstrumente
Jahre
Tage
Stunden
Minuten
Sekunden