Lieferung eines ICP-RIE-Trockenätzers mit Fluor-Chemie einschließlich Nebenleistungen (Wartung und Support)

FBH-2025-0141 Lieferung eines ICP-RIE-Trockenätzers mit Fluor-Chemie einschließlich Nebenleistungen (Wartung und Support)

22520000: Trockenätzausrüstung

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Ende der Frist: 27. November 2025, 13:00
Veröffentlicht am: 23. Oktober 2025
Vergabeart: Offenes Verfahren
Auftraggeber: Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
Art des Auftrags: Lieferauftrag
Dokumentennummer: FBH-2025-0141
NUTS-Code: DE300
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Status: Aktiv