Fourniture d'un équipement automatique de mesure de résistance carrée (Rs) de wafers de 300mm

Pour ses activités de recherches & développements, le CEA-LETI souhaite acheter un équipement automatique de mesure de résistance carrée (Rs) de wafers de 300mm de diamètre, qui doit permettre d_effectuer des mesures précises sur des échantillons à haute résistivité (HR).
Les options facultatives :
o Option n°1 : caméra (§2.1)
o Option n°2 : Echangeurs de chaleur / refroidisseurs (§3.2.6)
o Option n°3 : Transformateur (§4.1.4)
o Option n°4 : Formation Maintenance 1er niveau (§9)
o Option n°5 : Formation Maintenance Avancée (§9)
o Option n°6 : Extension de garantie 1 an supplémentaire (§11.1)
o Option n°7 : Transport Incoterm DAP

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Haupt-CPV-Code

31712100: Mikroelektronische Maschinen und Geräte