Equipement 300mm splitting furnace for SmartCut technology

Le présent marché a pour objet de fixer les conditions selon lesquelles le CEA confie au Titulaire, qui accepte, la fourniture d_un four permettant le Smart-CutTM de plaquettes de 300 mm dans des tubes horizontaux.
Le marché comporte les options obligatoires suivantes :
Option 1 : Formation Maintenance 1er niveau (§9 du CdC)
Le marché comporte les options facultatives suivantes :
Option 2 : Echangeurs de chaleur (Heat exchangers) and systèmes de refroidissement (chillers) (§3.2.6 du CdC)
Option 3 : Transformateur électrique (Power supply transformer) (§4.1.4 du CdC)
Option 4 : Formation Maintenance Avancée (§9 du CdC)
Option 5 : Extension de garantie d_une année supplémentaire.

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Haupt-CPV-Code

31712100: Mikroelektronische Maschinen und Geräte